フォトマスク保管システム
フォトマスク
保管システム
露光工程で使用するフォトマスクを一括管理
本システムは、自動化を標準とし収納ケースなしで保管するフォトマスク保管システムです
特長
設置環境や収納枚数等のニーズに合わせるシステム
ULPAやHEPAフィルターユニットを装着し、清浄度を維持するシステム
機能や装置の追加が可能な拡張性のあるシステム
参考仕様
| 対象フォトマスク | 4″～9″（最大8.6世代迄） |
| 収納枚数 | 100枚～ |
| スループット | 60秒～ |
| フォトマスク管理 | マスク在荷管理、入出庫管理、使用頻度管理、 バーコード管理、QRコード管理等 |
| ユーティリティ | 電源（3相 200V 50/60Hz） クリーンドライエア（駆動用） 真空（吸着用） 排気（一般） |
