■ 8インチ以下は「一括露光方式」、

　12インチor □300mm基板は「ステップ＆リピート露光方式」の選択が可能

■ 露光エリアが広い為、高生産性を実現

■ 焦点深度が深い為、MEMS、 RFフィルター業界にも多数の実績あり

■ TAIKOウエハにも対応

■ グローバルアライメント方式採用

■ 高剛性フレームにより、高精度アライメント露光が可能

■ フォーカスマップ機構装備（オプション）