CMS （Cerma Micro Stepper）
CMS
（Cerma Micro Stepper）
特長
L/S＝1.4/1.4um 量産プロセスに対応
650×550mmのフルパネル量産に対応
ダイバイダイアライメン＆グローバルアライメント方式
チップファースト工程にも対応可能
ショット毎チルト機構搭載により歩留まり向上
投影レンズラインナップ
| レンズ Lens | Ck |
| 倍率 Magnification | ×1 |
| 露光エリア［mm］ Exposure area | 4″/□70 |
| 解像力L/S［μm］ Resolution L/S | 1.4/1.4 |
| 波長 Wavelength | i-line |
| 光源 Light source | UV-LED |