Thermal Warpage System Thermal Warpage
Thermal Warpage System
Thermal Warpage
仕様
| 測定エリア | 最大 192×240mm 最小 36×45mm |
| Z軸分解能 | 最大 8microns 最小 2.5microns |
| Z軸測定精度 | 2.5microns/3% |
| 測定時間 | 1秒（1データ取得） |
（段差、はんだボール測定可能）
（段差、はんだボール測定可能）
（段差、はんだボール測定可能）
AXP 2.0-DFP2
（段差、はんだボール測定可能）
