次世代 サーモレイ シャドウモアレ測定システム
次世代 サーモレイ
シャドウモアレ測定システム
TherMoiré AXP 2.0は従来のシャドウモアレシステムである8ビットから12ビットへバージョンアップしサンプル準備段階の白色スプレー塗布を低減しました。
その結果φ300mmまでのウエハー測定が非破壊測定となる可能性を拡大しました。
また、上下加熱を実現、昇温速度向上と共にサンプル加熱時の面内及び表裏の温度差低減を実現しました。
特長
最大測定視野 375×375mm（シャドウモアレ時）
データ取得速度 1ポイント約2秒
上下加熱により昇温速度3℃/秒以上
DICオプション追加でCTE値算出が可能
Convectiveモジュール使用でマイナス温度環境再現
－50℃～＋300℃までの対流式冷却、加熱
その他Studioソフトウエアによる多機能測定で解析ソリューションを提供
＊用途に合ったオプション機能の追加可能
