搬送用リングホイールによる傷(搬送痕防止）

搬送用リングホイールによるレジストの倒れ込み防止

剥離後、DFRリングホイールへの張り付きによる基板への再付着の防止

薄物対応

　厚さ60μmの基板に対応

　基板にダメージを与えずに薄物基板の処理が可能

搬送痕がつかない完全コンタクトフリーを実現

ロボット搬送システムによる全自動生産

クランプ部分の液だまりは解決済み