スリット

コーター

サーマプレシジョンの塗布装置は、各種基板にフォトレジスト等の薬液を塗布するスリットコート法の装置です。​お客様の製造形態や様々な工場環境を考慮し装置提案及びシステム提案いたします。​

装置ラインナップ​

装置仕様​​

基材種類	ガラス、樹脂基板、フレキシブル基板、フィルム
基材寸法	100mm x 100mm～730mm x 920mm​
対応薬液	感光性材料（レジスト）、感光性絶縁材料（ポリイミド）、各種コーティング材料​
塗布方式	スロットダイ（塗布用ヘッド）による塗布​​
装置構成	ヘッド走行タイプ 、テーブル走行タイプ​​
塗布精度	±3～5％​​​
タクトタイム	25秒～​​​​
塗布システム例	ローダー →コーター → ベーク → 冷却 → アンローダー​​
システムオプション	EFEM 塗布前洗浄（Wet/Dry） 減圧乾燥（VCD) ホットプレート（HP) クールプレート（CP） 搬送ロボット（RB) 搬送コンベア（CV) 等々​​ ​